Microcapteurs de gaz (Traité EGEM série Microsystèmes)
Francis Ménil
La détection d'espèces gazeuses constitue un maillon souvent essentiel à la solution de problèmes d'environnement, sécurité, santé, économies d'énergie, contrôles qualité. La nécessité de résoudre ces problèmes, conjuguée aux progrès constants des technologies de miniaturisation, sont à l'origine de l'essor considérable des microcapteurs de gaz depuis une quarantaine d'années. La diversité des espèces à détecter et la diversité des applications impliquent des principes et des technologies excessivement variés, qui rendent difficile la construction d'un document à la fois synthétique, homogène et didactique sur le sujet. Les auteurs ont néanmoins tenté de relever ce défi dans le présent ouvrage. Le rappel de notions de base dans les premiers chapitres facilite le traitement, dans les chapitres suivants des capteurs à électrolyte solide (ex. sonde lambda), des capteurs catalytiques (pellistors), résistifs (ex. oxyde d'étain) et capacitifs (ex. capteurs d'humidité), des GasFET, des capteurs gravimétriques à micropoutre (cantilever) et à ondes acoustiques (SAW), des capteurs optiques, électrochimiques et finalement des capteurs ne mettant en jeu aucun matériau sensible (infrarouge, conductivité thermique, paramagnétisme…). Enfin le dernier chapitre aborde les applications « nez électronique » basées sur des dispositifs « multicapteurs ».
Chapitre 1. Généralités et définition -F. MENIL avec la participation de C. DEJOUS, D. REBIERE. Chapitre 2. Capteurs chimiques et composants électroniques : une approche commune -F. MENIL. Chapitre 3. Reconnaissance chimique -F. MENIL, C. DEJOUS, D. REBIERE, M. BOUVET. Chapitre 4. Capteurs à électrolyte solide -F. MENIL. Chapitre 5. Capteurs catalytiques -D. JAMOIS avec la participation de F. MENIL. Chapitre 6. Capteurs résistifs -F. MENIL avec la participation de C. PIJOLAT, C. LUCAT, A. PAULY. Chapitre 7. Capteurs capacitifs -A. TETELIN, C. PELLET avec la participation de F. MENIL. Chapitre 8. Capteurs de gaz à transistor à effet de champ (GasFET) -N. JAFFREZIC, C. MARTELET, F. MENIL, avec la participation de L. FADEL, P. TEMPLE-BOYER. Chapitre 9. Capteurs à microstructures mobiles -I. DUFOUR, C. BERGAUD. Chapitre 10. Microcapteurs à ondes acoustiques -C. DEJOUS, D. REBIERE, C. ZIMMERMANN. Chapitre 11. Capteurs de gaz basés sur d'autres principes -J.-P. GOURE, P. FABRY, P. TARDY. Chapitre 12. Le "nez électronique" -P. MIELLE, E. LLOBET. Annexe. Temps de réponse et de recouvrement -F. MÉNIL. Index.